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            抗蝕劑設備加熱臺的溫度檢測
        
    

    

    
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抗蝕劑設備等半導體制造工藝中，平臺的表面溫度測量非常重要。
    使用安立計器的「溫度記錄儀 AM-9000系列」和「自重型表面溫度傳感器　WE系列」可簡單的將傳感器放置于測量點上，并同時測量記錄多個點的溫度分布。并且可在電腦上確認圖表，進行解析。
    

    

    手持式溫度記錄儀 AM-9000系列
    

    
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    AM-9000K
    (-200～1370℃)
    AM-9000 系列產品是簡便型溫度記錄儀。
    可以記憶儲存數據于主機。
    ?使用USB數據線傳送數據到電腦
    ?可利用準用軟件「AMS-950」（另售）進行數據解析。
    

    

    
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專用解析軟件AMS-950（英文版）另售。
    ?記錄數據可轉送至電腦制圖和制表。
    ?記錄的數據可轉換成CSV文檔，可利用Excel等自由編輯數據。
    ?也可轉換成XPS文檔，以防止數據被串改。
    

    

    

    自重型表面溫度傳感器　WE系列
    

    
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    WE-33K-TA1-ANP
    溫度范圍：-50～200℃
    

    

    WE系列產品頭部內藏砝碼、只需放置于被測物表面即可測量溫度。頭部大小?材質等可自由選擇，可以根據客戶的用途進行選配。